优化工程系统公司(OES)推出了XYR-300-400校准台,可为工业、医疗、半导体、生产、研究和实验室应用提供+/- 3微米精度。xr -300-400定位阶段特点+/- 15毫米的行程在x和y轴和+/- 5度旋转(θ)。它在xy平面内运动,并围绕xy平面的中心旋转。
xr -300-400准直台具有1微米分辨率的X轴和Y轴线性分辨率,每步电机驱动器有10微步,静态平行度小于0.05 mm。两相步进电机是标准;然而,伺服电机与正交光学编码器也可作为更大的分辨率和可重复性的选择。8毫米直径和2毫米每转精密滚珠丝杠和预装v型槽和交叉滚子轴承增加高精度和刚度这一紧凑对准阶段。
工作台为300 × 300毫米,有螺纹孔和110 × 110毫米的开口,用于光学、电缆等;坚固的上衣是可用的。底板为400 x 400毫米,而校准台的高度仅为98毫米。
XYR-300-400对准阶段是黑色阳极氧化铝,易于集成到新的或现有的系统。兼容的运动控制器可从OES和XYR-300-400对准阶段也可以订购